【作者】 沙德亮； 孔亚新；
【机构】 燕山大学电气工程学院； 一重集团大连设计研究院；
【摘要】 在双频激光干涉中拍频信号的高精度测量是双频激光干涉测量中的重要技术,广泛应用于精密机械、微电子加工等制造业的高速超精密测量场合。通过使用差分电路设计,提高了电路的抗干扰能力,有效地抑制了温度飘移,显著提高了信号的检测精度。更多还原
