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多弧离子镀TiAlN涂层熔滴工艺参数的影响

Influence of Technical Parameters on Droplets of TiAIN Coating Deposited by Multi-arc Ion Plating

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【作者】 毛延发； 宫永辉； 杨琳； 韩培刚； 兰新哲； 周廉；

【Author】 MAO Yan-fa1,GONG Yong-hui2,YANG Lin3,HAN Pei-gang3,LAN Xin-zhe1,ZHOU Lian1(1.Xi’an University of Architecture and Technology,Xi’an 710003,China;2.Shenzhen University,Shenzhen 518060,China;3.Shenzhen Grandia Nano-technology Limited,Shenzhen 518172,China)

【机构】 西安建筑科技大学； 深圳大学； 深圳市广大纳米工程技术有限公司； 西安建筑科技大学 陕西西安710003； 广东深圳518060； 广东深圳518172； 陕西西安710003；

【摘要】 综合介绍了多弧离子镀TiAlN涂层熔滴颗粒产生的原因,探讨了N2分压和脉冲偏压对熔滴形成的影响.结果表明,TiAlN涂层中的熔滴颗粒密度和直径随N2分压和脉冲偏压峰值的提高而减小.

【Abstract】 The reasons of droplets formed during the multi-arc ion plating TiAIN coating are summarized also.The influences of N2 partial pressure and negative DC pulse-bias on droplets formation are discussed.The results shows that the density and diameter of droplets become lower with N2 pressure and pulse-bias increase.

【关键词】 TiAlN； 熔滴； N2分压； 脉冲偏压； 多弧离子镀；
【Key words】 TiAIN； Droplets； N2 partial pressure； DC pulse-bias； Multi-arc ion plating；
【基金】 深圳大学科研启动基金项目(200536)
  • 【文献出处】 内蒙古民族大学学报(自然科学版) ,Journal of Inner Mongolia University for Nationalities(Natural Sciences) , 编辑部邮箱 ,2007年05期
  • 【分类号】TG174.444
  • 【被引频次】18
  • 【下载频次】333
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