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基于原子力显微镜的悬臂梁微尖端器件应用新进展

Application of AFM-based Cantilever with Micro-probe

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【作者】 傅剑宇； 陈大鹏； 焦斌斌； 欧毅； 景玉鹏； 董立军； 叶甜春；

【Author】 FU Jian-yu,CHEN Da-peng,JIAO Bin-bin,OU Yi,JING Yu-peng,DONG li-jun, YE Tian-chun (Institute of microelectronics of Chinese academy of sciences, Beijing 100029)

【机构】 中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室； 中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室 北京100029； 北京100029；

【摘要】 在分析原子力显微镜工作原理的基础上,详细介绍了各种基于原子力显微镜的悬臂梁微尖端器件的应用进展,并展望了悬臂梁微尖端器件的发展前景。

【Abstract】 This paper introduces the work principle of AFM, and discusses the recent application of several AFM-based cantilevers with micro-probe in detail. Finally, it indicates the way this kind of de- vices will follow.

【关键词】 原子力显微镜； 悬臂梁； 微尖端；
【Key words】 AFM； Cantilever； Micro-probe；
【基金】 国家自然科学基金资助项目(批准号:60576053);国家“63”计划资助项目(批准号:2005AA404210)
  • 【文献出处】 电子工业专用设备 ,Equipment for Electronic Products Manufacturing , 编辑部邮箱 ,2007年01期
  • 【分类号】TH742.9
  • 【被引频次】8
  • 【下载频次】346
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