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Ca-B-Si系LTCC基板材料的制备及其介电性能研究

Research on Preparation and Dielectric Properties of CaO-B2O3-SiO2 LTCC Substrate Material

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【作者】 夏树刚张树人周晓华李波梁一帅唐彬

【Author】 XIA Shugang ZHANG Shuren ZHOU Xiaohua LI Bo LIANG Yishuai TANG Bin (State Key Laboratory of Electronic Thin Film and Integrated Devices,University of Electronic Science and Technology of China,Chengdu 610054)

【机构】 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 成都610054成都610054

【摘要】 利用高温熔融法制备的硬玻璃的强析晶能力和软玻璃的低温烧结性,将两种玻璃混合掺杂,结合对工艺参数的控制,研究了不同玻璃配方组成、不同混掺比例以及不同烧结温度对其介电性能和烧结性能的影响,最终在HG31P:SG1摩尔比为8:2,烧结温度为850℃下制得烧结完全致密,CaSiO3为主晶相,介电常数ε=5.6~6.4,损耗角正切tgδ<15×10-4,绝缘电阻率Rj>1012ΩQ·cm,烧结密度ρ>2.48g/cm3的低温共烧陶瓷。

【Abstract】 CaO-B2O3-SiO2 LTCC system is prepared by mixing two kinds of CaO-B2O3-SiO2 glasses,one is hard galss which has strong crystallization ability,the other is soft glass which has low liquidus temperature.The effect of processing parameters,compositions proportion of two kinds of glasses and sintering temperature on the dielectric and sintering properties is studied.Finally LTCC of HG31P:SG1=8:2(mol proportion)with excellent dielectric properties ofε≈5.6~6.4,tgδ<15×10-4,Rj>1012Ω·cm,andρ>2.48g/cm3 is obtained.

【关键词】 Ca-B-Si系玻璃LTCC硬玻璃软玻璃CaSiO3
【Key words】 Ca-B-SiLTCChard glasssoft glassCaSiO3
  • 【文献出处】 材料导报 ,Materials Review , 编辑部邮箱 ,2007年S3期
  • 【分类号】TQ171.7
  • 【被引频次】5
  • 【下载频次】306
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