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电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术研究及应用进展

The Research and Application Evolvement of Electron Beam-Physical Vapor Deposition Technology

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【作者】 刘景顺； 曾岗； 李明伟； 杨森； 郭洪飞；

【Author】 LIU Jingshun~1 ZENG Gang~2 LI Mingwei~2 YANG Sen~1 GUO Hongfei~1 1 School of Materials Science and Engineering,Inner Mongolia University of Technology,Huhhot 010051; 2 School of Materials Science and Engineering, Harbin Institute of Technology,Harbin 150001

【机构】 内蒙古工业大学材料科学与工程学院； 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院； 内蒙古工业大学材料科学与工程学院 呼和浩特 010051； 哈尔滨 150001； 呼和浩特 010051；

【摘要】 概述了近几年来快速发展的新兴材料加工工艺技术——电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术的研究及应用现状,着重阐述了电子束物理气相沉积(EB-PVD)过程的主要工艺参数和制备高温合金板材显微组织的形成机理。

【Abstract】 The recent research and application evolvement of electron beam physical vapor deposition(EB- PVD)technology are reviewed in this paper.Some key points with emphasis on the main technological parameters(such as evaporation temperature,gas pressure,rate of evaporation and coacervation,heating-up temperature and so on)in progress and the formative mechanism of microstructure of supper-alloy sheet prepared by EB-PVD are expounded.

【关键词】 电子束物理气相沉积(EB-PVD)； 应用； 工艺参数； 形成机理；
【Key words】 electron beam-physical vapor deposition(EB-PVD)； application； technological parameters； formative mechanism；
【基金】 总装备部预研基金项目(No．51418040304HT0114)
  • 【文献出处】 材料导报 ,Materials Review , 编辑部邮箱 ,2007年S3期
  • 【分类号】TG174.4
  • 【被引频次】54
  • 【下载频次】1546
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