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X-Factor理论在半导体晶圆制造中的应用

Application of X-Factor Theory in the Semiconductor Wafer Fabrication

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【作者】 许圣良; 钱省三; 马慧民; 任建华;

【Author】 XU Sheng-liang1,QIAN Xing-san1,MA Hui-min2,REN Jian-hua1 (1.School of Management,University of Shanghai for Science and Technology,Shanghai 200093,China;2.School of Economics and Management,Shanghai Dianji University,Shanghai 200245,China)

【机构】 上海理工大学管理学院; 上海电机学院经济管理学院; 上海理工大学管理学院 上海200093; 上海200093; 上海200245;

【摘要】 目前快速响应市场和降低成本成为半导体企业重点强调的目标,这就需要较短的生产周期和最大限度地使用最少的设备。但实际中,生产周期和设备利用率存在着此消彼长的关系。介绍了一种X-factor理论,其具有综合考虑这两者关系的优点,目前该理论在国际半导体企业中已经得到运用。就此方法与传统的监测和优化设备瓶颈方法进行比较,得出了此方法的合理性和优越性。

【Abstract】 Recently on time to market and low cost are the strong emphasises in the semiconductor industry,which require short cycle time and high utilization of a minimum number of tools.But a trade off is between cycle time and utilization,how to solve the issue better becomes a big problem in semiconductor factory.X-factor theory for solving the problem was introduced,it is used in semiconductor factory gradually now.Comparing this new method with traditional machine bottleneck inspection and optimization methods,it shows that X-factor theory method is more proper and better.

  • 【文献出处】 半导体技术 ,Semiconductor Technology , 编辑部邮箱 ,2007年08期
  • 【分类号】TN305
  • 【被引频次】3
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