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扫描电子显微镜与原子力显微镜技术之比较

The comparison of SEM and AFM techniques

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【作者】 陈耀文； 林月娟； 张海丹； 沈智威； 沈忠英；

【Author】 CHEN Yaowen~1,LIN Yuejuan~1,ZHANG Haidan~1,SHEN Zhewei~1,SHEN Zhongying~2(1.Central Laboratory,Shantou University,Guangdong Shantou 515063,China;2.Medical College,Shantou University,Guangdong Shantou 515031,China)

【机构】 汕头大学中心实验室； 汕头大学医学院 广东汕头515063； 广东汕头515063； 广东汕头515031；

【摘要】 SEM和AFM技术是最常用的表面分析方法。本文介绍了SEM和AFM两种技术的原理,描述了这两种技术在样品形貌结构、成分分析和实验环境等方面的性能,比较了两种技术的特性和不足,充分利用两种技术的互补性,将两种技术结合使用,有助于更加深刻地认识样品的特性。

【Abstract】 Scanning electron microscopy(SEM) and atomic force microscopy(AFM) are powerful tools for surface investigations.This article described the principles of these two techniques,compared and contrasted these two techniques with respect to the surface structure and composition of materials,and environment.SEM and AFM are complementary techniques,by having both techniques in an analytical facility,surface investigations will be provided a more complete representation.

【关键词】 原子力显微镜； 扫描电子显微镜； 表面形貌； 化学成分；
【Key words】 atomic force microscopy； scanning electron microscopy； surface structure； composition；
【基金】 国家自然科学基金资助(No.30470900);汕头大学研究与发展基金资助(No.L00015)
  • 【文献出处】 中国体视学与图像分析 ,Chinese Journal of Stereology and Image Analysis , 编辑部邮箱 ,2006年01期
  • 【分类号】TH742
  • 【被引频次】170
  • 【下载频次】5545
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