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压电传感器材料的铁电特性研究

Investigation of ferroelectric properties of piezoelectric sensor

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【作者】 邵春玉； 王兢； 刘梦伟； 董维杰；

【Author】 Shao Chunyu ~(1) Wang Jing~(1,2) Liu Mengwei~(2) Dong Weijie~(1,2)~(1)(School of Electronic and Information Engineering,Dalian University of Technology,Dalian 116023,China)~(2)(Key Laboratory for Micro/Nano Technology and System of Liaoning Province,Dalian University of Technology,Dalian 116023,China)

【机构】 大连理工大学电子与信息工程学院； 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室大连理工大学； 大连理工大学电子与信息工程学院 大连116023； 大连116023； 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室大连理工大学大连116023；

【摘要】 本文采用溶胶-凝胶工艺制备了不同Mn离子掺杂浓度的PZT薄膜。研究了不同掺杂浓度对压电传感器薄膜铁电特性的影响。试验结果表明:当Mn离子含量较少时,Mn在PZT中主要表现施主掺杂特性,薄膜铁电性能提高;而当浓度增大时,薄膜性能降低。

【Abstract】 PZT films with 0~1.3mol% Mn dopant were fabricated using sol-gel method.The effect of manganese doping on ferroelectric properties of PZT(Zr/Ti=30/70) thin films was investigated.Mn ion is preferentially acted as donor when the concentration of Mn is small,which can improve the ferroelectric properties of PZT films.

【关键词】 压电材料； PZT； 铁电性； Mn；
【Key words】 piezoelectric PZT ferroelectric Mn；
【基金】 国家自然科学基金(90207003)资助项目
  • 【文献出处】 仪器仪表学报 ,Chinese Journal of Scientific Instrument , 编辑部邮箱 ,2006年S1期
  • 【分类号】TP212.1
  • 【被引频次】5
  • 【下载频次】275
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