【作者】 张群芳; 朱美芳; 刘丰珍;
【机构】 中科院研究生院; 中科院研究生院;
【摘要】 <正>一引言用薄膜工艺在晶体硅衬底上制备非晶、纳米晶薄膜,可获得异质结电池,该类电池有以下优点:(1)材料消耗少;晶硅片厚度≤200μm,通常晶硅电池厚度为350μm;更多还原