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采用法拉第杯评价ESEM的电荷环境

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【作者】 付景永； 张隐奇； 田彦宝； 徐学东； 韩晓东； 吉元；

【机构】 北京工业大学固体微结构与性能研究所； 北京工业大学固体微结构与性能研究所 北京100022； 北京100022；

【关键词】 ESEM； 法拉第杯； 样品室； 荷电效应； 工作距离； 加速电压； 入射电子； 气体压力； 散射率； 子场；
【基金】 国家自然科学基金资助项目(No.60171024);北京市教委基金资助项目(No.KM200610005030)
  • 【文献出处】 电子显微学报 ,Journal of Chinese Electron Microscopy Society , 编辑部邮箱 ,2006年S1期
  • 【分类号】TN16
  • 【下载频次】183
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