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聚酰亚胺上催化剂增强化学气相沉积钯-铂双层膜(英文)

Catalyst-Enhanced Chemical Vapor Deposition of Palladium-Platinum Bilayer Films on Polyimide

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【作者】 郑建华； 周锦兰； 俞开潮； 葛学贵； 于澍燕；

【Author】 ZHENG Jianhua~1, ZHOU Jinlan~2, YU Kaichao~2, GE Xuegui~1, YU Shuyan~3 (1 Department of Material Science and Chemical Engineering, China University of Geosciences, Wuhan 430074, Hubei, China; 2 Department of Chemistry, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, Hubei, China; 3 State Key Laboratory of Polymer Physics and Chemistry, Institute of Chemistry, The Chinese Academy of Sciences, Beijing 100080, China)

【机构】 中国地质大学材料科学与化学工程学院； 华中科技大学化学系； 中国科学院化学研究所高分子物理与化学国家重点实验室 湖北武汉430074； 湖北武汉430074； 北京100080；

【摘要】 以N2和O2为载气,采用催化剂增强化学气相沉积法于聚酰亚胺上获得了Pt和Pd-Pt双层金属薄膜.当使用Pd(hfac)2和Pt Me2(COD)为前驱体,在同一反应器内共沉积时,只有Pt被沉积.金属Pd和Pt顺序沉积可形成Pd-Pt双层膜.

【Abstract】 Catalyst-enhanced chemical vapor deposition of Pt and Pd-Pt bilayer films on polyimide using N2 and O2 as the carrier gases was studied. When the mixture of Pt complex and Pd complex was used as precursors in the same chamber for co-deposition of Pd and Pt, only Pt was deposited. Sequential deposition of Pd and Pt metals formed Pd-Pt bilayer films.

【关键词】 催化剂增强化学气相沉积； 聚酰亚胺； 铂膜； 钯-铂双层膜；
【Key words】 catalyst-enhanced chemical vapor deposition； polyimide； platinum film； palladium-platinum bilayer film；
【基金】 Supported by the National Natural Science Foundation of China (40172018 ,20275011)
  • 【文献出处】 催化学报 ,Chinese Journal of Catalysis , 编辑部邮箱 ,2006年06期
  • 【分类号】O643.32
  • 【被引频次】3
  • 【下载频次】125
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