【作者】 白晓明； 郑伟涛； 安涛；
【机构】 吉林大学材料科学系； 吉林大学材料科学系 长春 130012； 长春 130012； 长春 130012；
【摘要】 综述了近年来纳米多层膜和复合超硬涂层研究的最新进展,分析了Ti／TiN、氮化物／氮化物多层膜和Ti-Si-N及Ti-Al-Si-N系复合膜的最新研究现状,详述了纳米多层膜和复合超硬涂层的致硬机理和设计方法,展望了今后纳米多层膜和复合超硬涂层的研究方向.更多还原
