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纳米硬质薄膜的研究进展

Development of Nano-hard Thin Film

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【作者】 陶斯武； 雷诺； 曲选辉；

【Author】 TAO Si-wu,LEI Nuo,QU Xuan-hui(State Key Laboratory for Advanced Metals and Materials,School of Materials Scienceand Engineering,USTB,Beijing 100083,China)

【机构】 北京科技大学材料科学与工程学院新金属材料国家重点实验室； 北京科技大学材料科学与工程学院新金属材料国家重点实验室 北京100083； 北京100083； 北京100083；

【摘要】 介绍了纳米硬质薄膜的概念、设计思想、超硬机制、制备技术及工艺、性能、应用前景,综述了近几年来国内外纳米硬质薄膜材料研究的最新进展,对纳米硬质薄膜的发展趋势提出了一些看法。

【Abstract】 The concept,design superhard mechanisms,synthesis technologies and processes,properties,applications,and advancement of nano-hard film including nano-multilayers and nano-composite films were reviewed in this paper.Finally the trends in developing of nano-hard film were outlined.

【关键词】 纳米硬质薄膜； 硬度； 纳米多层膜； 纳米复合膜；
【Key words】 nano-hard film； hardness； nano-multilayer film； nano-composite film；
  • 【文献出处】 稀有金属与硬质合金 ,Rare Metals and Cemented Carbides , 编辑部邮箱 ,2005年03期
  • 【分类号】TB383
  • 【被引频次】62
  • 【下载频次】855
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