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铁电薄膜C-V特性测量研究

Study of Measuring C-V Characteristic in Ferroelectric Thin Films

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【作者】 冯术成； 杨传仁； 陈宏伟； 符春林； 廖家轩； 尹开锯；

【机构】 电子科技大学微电子与固体电子学院； 电子科技大学微电子与固体电子学院 成都610054； 成都610054； 成都610054；

【摘要】 采用TH2828型LCR测试仪及四端对接测量方法,搭建了铁电薄膜的介电特性测试平台。利用此测试平台对自制钛酸锶钡(简称BST)铁电薄膜材料的C-V特性进行测量,能准确表征铁电薄膜的介电特性。

【关键词】 铁电薄膜； C-V特性测量； 四端对接； 实验；
  • 【文献出处】 实验科学与技术 ,Experiment Science and Techndogy , 编辑部邮箱 ,2005年S1期
  • 【分类号】TB383;
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