【作者】 韩德强; 李勇;
【机构】 江西理工大学材料与化学工程学院; 江西理工大学材料与化学工程学院 赣州341000; 赣州341000;
【摘要】 综述了溶胶-凝胶工艺在薄膜制备技术中的现状和技术动态、溶胶-凝胶工艺的成膜理论和成膜工艺对薄膜工业发展的促进,并简要提出了溶胶-凝胶薄膜工艺影响薄膜厚度的因素和存在的主要技术问题。更多还原