【作者】 肖刚； 谢铁邦； 王选择；
【机构】 华中科技大学机械学院仪器系； 华中科技大学机械学院仪器系 武汉430074； 武汉430074； 武汉430074；
【摘要】 本文在已有的研究成果基础之上 ,介绍了一种小型相位光栅干涉式 (PhaseGratingInterference)微位移传感器 ,该传感器具有大量程、高分辨力的特点更多还原
