节点文献

基于AFM的光盘形貌研究

The study of optical disk pattern based on AFM

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 孙大许； 刘万里； 马强； 闫勇刚；

【Author】 SUN Da-xu,LIU Wan-li,MA Qiang,YAN Yong-gang(Precision Engineering Institute,Henan Polytechnic University,Jiaozuo 454003,China)

【机构】 河南理工大学精密工程研究所； 河南理工大学精密工程研究所 河南焦作454003； 河南焦作454003； 河南焦作454003；

【摘要】 介绍了原子力显微镜(AFM)的原理及特点。用AFM对光盘上记录信息用的凹坑结构进行了三维检测,并对测量结果进行了分析。结论表明AFM在光盘质量检测过程中具有独特的优势。

【Abstract】 The paper introduces the principle and characteristic of atomic force microscope(AFM).It is used to three-dimensional detect pit structure on optical disk,and analyzed measure results.The obtained results demonstrate the AFM have particular advantages in detecting the quality of optical disk.

【关键词】 原子力显微镜(AFM)； 光盘； 凹坑； 检测；
【Key words】 atomic force microscope(AFM)； optical disk； pit； detection；
  • 【文献出处】 光学仪器 ,Optical Instruments , 编辑部邮箱 ,2005年05期
  • 【分类号】TQ597;
  • 【被引频次】4
  • 【下载频次】226
打印本页
节点文献中：