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多层陶瓷电容器流延瓷膜的原子力显微镜分析
【摘要】 电介质瓷料流延膜的制作是生产多层陶瓷电容器(MLC)的关键工序,流延膜的平整度,致密性,表面形貌等是影响MLC的性能和可靠性的关键因素之一。原子力显微镜(AFM)可不经导电处理直接观察电介质瓷膜的表面微结构。AFM作为表面形貌观察手段,一般被用来分析晶粒尺寸小和表面平整的样品,对于大晶粒和粗糙表面的成像质量并不理想。在我们以前粗糙表面的AFM成像研究的基础上,本工作研究了塑料底膜上粗大X7R瓷料晶粒的AFM分析方法,通过实验确定了瓷膜的固定方法,优化了实验条件,获得了清晰的表面形貌图像并做了相应的表面数据分析。用X7R瓷料流延在塑料底膜上制备成MLC流延膜;实验采用日本精工SPA-300HV型
- 【文献出处】 电子显微学报 ,Journal of Chinese Electron Microscopy Society , 编辑部邮箱 ,2005年04期
- 【分类号】TM53
- 【被引频次】1
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