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聚对二甲苯/SiO2薄膜应用于KDP晶体增透保护膜的制备研究

Preparation of Parylene/SiO2 Films Used for Protecting KDP Crystals

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【作者】 刘枫； 沈军； 秦仁喜； 吴广明； 肖轶群； 吴兆丰；

【Author】 LIU Feng SHEN Jun QIN Renxi WU Guangming XIAO Yiqun WU Zhaofeng (Pohl Institute of Solid State Physics,Tongji University,Shanghai 200092)

【机构】 同济大学波耳固体物理研究所； 同济大学波耳固体物理研究所 上海 200092； 上海 200092；

【摘要】 报道了采用真空化学气相沉积法制备的聚对二甲苯薄膜和采用溶胶-凝胶技术制备的二氧化硅增透膜,通过提拉镀膜法在聚对二甲苯薄膜表面镀制 SiO2增透膜得到的双层膜可应用于 KDP 晶体的增透保护膜。用 FT-IR、紫外-近红外分光光度计对聚对二甲苯/SiO2薄膜的结构和光学性能进行了表征和测试。双层膜的透射率达到92%以上,激光损伤阈值为8J/cm2。镀有保护膜的 KDP 晶体在相对湿度稳定的环境下放置半年多后透射率基本保持不变。

【Abstract】 Parylene film prepared by vacuum chemical vapor deposition process and SiO2 reflective film pre- pared by sol-gel technology were reported in this paper.By dip-coating process,parylene film could be associated with SiO2 AR-coating to act as protective film of KDP crystal.FT-IR spectra,UV-visible spectra are used to charac- terize the structure and optical property of films.The transmittance of composite films can reach above 92% and the laser damage threshold is 8J/cm2.The KDP crystals with protective film can maintain the transmittance after having been put in air for more than half years.

【关键词】 聚对二甲苯； SiO2增透膜； KDP 晶体； 保护膜；
【Key words】 parylene； SiO2 anti-reflective film； protective film； KDP crystal；
【基金】 国家自然科学基金重点项目(20133040)资助课题;国家高技术863计划项目(2002AA842052)资助课题;教育部跨世纪优秀人才资助计划课题;上海市重点学科建设项目资助课题;上海市科委中法合作项目资助课题;上海市纳米科技与产业发展促进中心资助课题
  • 【文献出处】 材料导报 ,Materials Review , 编辑部邮箱 ,2005年01期
  • 【分类号】TB383.2
  • 【被引频次】3
  • 【下载频次】197
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