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基于扫描隧道显微镜的纳米加工技术

Nanofabrication Based on Scanning Tunneling Microscope

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【作者】 魏强； 张玉林； 宋会英； 于欣蕾；

【Author】 WEI Qiang,ZHANG Yu-lin,SONG Hui-ying,YU Xin-lei School of Control Science and Engineering, Shandong University, Ji’nan 250061, China; Department of Physics, Taishan University, Taian 271021, China

【机构】 山东大学控制科学与工程学院,山东大学控制科学与工程学院,山东大学控制科学与工程学院,山东大学控制科学与工程学院 济南 250061； 泰山学院物理系,山东 泰安 271021,济南 250061,济南 250061,济南 250061；

【摘要】 介绍了具有原子级分辨率的扫描隧道显微镜(STM)的工作原理及其相对于传统的电子束加工所具有的技术优势,阐述了STM在纳米加工中的应用和需要解决的技术难题。

【Abstract】 Scanning tunneling microscope (STM) of atomic resolution and the mechanism and advantages of STM, compared with the traditional electron beam lithography, are introduced. Its applications in nanofabrication are outlined and the technical difficulties to be conquered are presented.

【关键词】 扫描隧道显微镜； 隧道效应； 纳米加工； 电子束光刻；
【Key words】 scanning tunneling microscope； tunneling effect； nanofabrication； electron beam lithography；
【基金】 国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90307003)山东省自然科学基金资助项目(Y2003G03)山东省科技攻关计划基金资助项目(022090105)
  • 【文献出处】 微纳电子技术 ,Micronanoelectronic Technology , 编辑部邮箱 ,2005年09期
  • 【分类号】TG669;
  • 【被引频次】11
  • 【下载频次】812
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