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MEMS动态测试技术

MEMS Dynamic Testing Technique

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【作者】 栗大超； 冯亚林； 傅星； 胡晓东； 靳世久； 郝一龙； 胡小唐；

【Author】 LI Da-chao1,2,FENG Ya-lin2,FU Xing1,HU Xiao-Dong1, JIN Shi-jiu1,HAO Yi-long2,HU Xiao-tang1 (1.State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments,Tianjin University,Tianjin 300072,China; 2.Institute of Microelectronics,Peking University,Beijing 100871,China)

【机构】 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室； 北京大学微电子学研究院； 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津300072 北京大学微电子学研究院 北京100871； 北京100871； 天津300072； 天津300072；

【摘要】 阐述了基于频闪成像、计算机视觉和干涉测量的MEMS动态测试技术、基于激光多普勒测振的MEMS动态测试技术以及基于其他原理和方法的MEMS动态测试技术等的测试原理、测试方法与研究现状,指出了MEMS动态测试技术进一步的研究方向。

【Abstract】 The measurement principle,measurement system and research status of different MEMS dynamic testing techniques are discussed. And the research trend of MEMS dynamic testing technique is brought forward.

【关键词】 微机电系统； 动态测试； 频闪成像； 计算机视觉； 干涉测量； 激光多普勒；
【Key words】 MEMS； dynamic testing； stroboscopic imaging； computer vision； interferometric measurement； laser Doppler；
【基金】 国家863高技术研究发展计划资助项目(2002AA431090,2004AA404040)
  • 【文献出处】 微纳电子技术 ,Micronanoelectronic Technology , 编辑部邮箱 ,2005年04期
  • 【分类号】TH703
  • 【被引频次】18
  • 【下载频次】737
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