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微细电火花加工MEMS器件技术关键分析

Analysis on Technique Keys for Fabricating MEMS Devices in Micro EDM

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【作者】 明平美； 胡洋洋； 朱健；

【Author】 MING Ping-mei1,HU Yang-yang1,ZHU Jian2 (1.Nanjing University of Aeronautics & Astronautics,Nanjing 210016,China; 2.Nanjing Electronic Devices Institute,Nanjing 210016,China)

【机构】 南京航空航天大学； 南京电子器件研究所 南京210016； 南京210016； 南京210016；

【摘要】 微细电火花加工作为一种低成本、高材料选择度的柔性非接触式加工技术,在微加工中具有独特的工艺优势。本文研究分析了利用微细电火花加工技术制造MEMS微结构、微器件的技术关键及其解决思路。

【Abstract】 Micro discharge machining,which has low machining cost,large material selection range,is a flexible and non-contacting technology and has especial process advantages in micromachining. Technique keys for fabricating MEMS microstructrues and microdevices in micro EDM and their solutions are studied and analyzed in this paper.

【关键词】 微细电火花加工； 微机电系统； 微结构； 微器件；
【Key words】 micro EDM； MEMS； microstructure； microdevice；
  • 【文献出处】 微纳电子技术 ,Micronanoelectronic Technology , 编辑部邮箱 ,2005年04期
  • 【分类号】TG661
  • 【被引频次】23
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