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射频微机械可变电容的研究与进展

Research and Progress of Micromachined Variable Capacitors

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【作者】 李丽； 张志国； 邓海丽； 赵正平； 杨瑞霞；

【Author】 LI Li1, ZHANG Zhi-guo1, Deng Hai-li2, ZHAO Zheng-ping1,YANG Rui-xia1(1 School of Information Engineering, Hebei University of Technology, Tianjin 300130, China;2.Dep. of Computer, Shijiazhuang Information Engingeering Vocational College,Shijiazhuang 050035, China)

【机构】 河北工业大学信息工程学院； 石家庄信息工程职业学院； 河北工业大学信息工程学院 天津300130； 天津300130； 石家庄050035； 天津300130；

【摘要】 对国内外有关微机械可变电容的研究做了综合阐述,包括改变介质的可变电容、改变重叠面积的可变电容和改变间隔的可变电容。并对其中有代表性的电容结构进行了说明,对其获得的零偏压下的电容量值、Q值以及调节范围进行了比较。

【Abstract】 The studies of micromachined tunable capacitors in the world are summarized. Thesecapacitors are dielectric changed variable capacitors, overlap areas changed variable capacitors andgap changed variable capacitors. Among these, the representative structures are explained. Capaci-tance under zero voltage, quality factor and tuning rage are compared.

【关键词】 射频微机械； 可变电容； Q值； 调节范围；
【Key words】 RF micromachined； variable capacitor； quality factor； tuning range；
  • 【文献出处】 半导体技术 ,Semiconductor Technology , 编辑部邮箱 ,2005年05期
  • 【分类号】TM53
  • 【被引频次】3
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