【作者】 陈平； 罗坚； 韩静；
【机构】 华南理工大学应用物理系； 华南理工大学应用物理系 广东广州510641； 广东广州510641； 广东广州510641；
【摘要】 在开设《微电子器件工艺》课程的同时 ,开设微电子器件工艺实习 ,利用这个有利条件 ,在教学过程中 ,应当将工艺实习与《微电子器件工艺》结合起来 ,理论联系实际 ,提出问题 ,解决问题 ,提高学生的理论水平与实际动手能力。更多还原
