【作者】 何勇； 吴栋； 吴子明； 姬会东；
【机构】 南京理工大学电光学院； 南京理工大学电光学院 南京210094； 南京210094； 南京210094；
【摘要】 参考反射镜的位移标定,在很大程度上决定了移相干涉仪的测量精度.根据移相干涉的要求和压电陶瓷的特点,设计了推动参考反射镜作微位移的机械装置,通过实验测量出其微位移量表明,设计的装置使反射镜移相的非线性为1.73%。更多还原
