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铁电薄膜应用研究进展

Development in Application of Ferroelectric Thin Films

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【作者】 徐文彬； 王德苗； 董树荣；

【Author】 XU Wenbin WANG Demiao DONG Shurong (Department of Information and Electronic Engineering, Zhenjiang Universyity, Hangzhou 310027, China)

【机构】 浙江大学信息与电子工程学系； 浙江大学信息与电子工程学系 杭州 310027； 杭州 310027；

【摘要】 简要综述了铁电薄膜在铁电存储器、MEMS系统、微波器件、光电器件等几个方面的典型应用,并对国内铁电薄膜的研究及发展作了概述。

【Abstract】 This paper briefly reviews the typical application of ferroelectric thin films in the domains of ferroelectric memory, MEMS, microwave devices and optical devices. Besides, it briefly discusses the research and development of the ferroelectric thin films in China.

【关键词】 铁电薄膜； 铁电存储器； MEMS；
【Key words】 ferroelectric thin films； ferroelectric memory devices； MEMS；
【基金】 国家自然科学基金(50172042)
  • 【文献出处】 材料导报 ,Materials Review , 编辑部邮箱 ,2004年10期
  • 【分类号】TB383.2
  • 【被引频次】15
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