【作者】 梁德丰； 梁静； 钱省三；
【机构】 上海理工大学工业工程研究所/微电子发展中心； 上海理工大学工业工程研究所/微电子发展中心 上海200093； 上海200093； 上海200093；
【摘要】 由于半导体制造工艺过程的复杂性,一般很难建立其制造模型,不能对工艺过程状态作有效的监控,所以迫切需要先进的半导体过程控制技术来严格监控工艺过程状态,而SPC就是其中最重要的一种技术。本文着重论述了半导体晶圆厂的SPC与传统行业的不同之处。更多还原
