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N2在多晶Ni表面电子诱导脱附的实验研究

Experimental Study of Electron-Stimulated Desorption of N2 from Polycrystalline Ni

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【作者】 张彤； 胡安； 毛福明； 杨学谦； 崔一平；

【Author】 Zhang Tong, Hu An, Mao Fuming, Yang Xueqian and Cui Yiping(1. Electronic Engineering Department, Southeast University, Nanjing ,210096, China; 2. National Laboratory of Solid State Microstructures and Physics Department, Nanjing University, Nanjing, 210093, China)

【机构】 东南大学电子工程系,南京大学固体微结构物理国家重点实验室,东南大学电子工程系,东南大学电子工程系,东南大学电子工程系 南京 210096； 南京大学固体微结构物理国家重点实验室 南京 210093博士后副教授,南京 210093,南京 210096,南京 210096,南京 210096；

【摘要】 电子诱导脱附是近年来在真空科学与表面科学领域内的热门研究课题。电子诱导脱附不仅作为研究和探讨原子激发过程以及电子能量传输机制的有效手段,而且已经逐渐成为获取表面和界面结构、状态等信息的有效方法。本文介绍了利用两种实验装置研究N2在多晶Ni表面的电子诱导脱附实验,测量了(1×10-3 Pa)条件下,N2在多晶Ni表面的脱附产额、电子诱导脱附阈值能量等重要的物理参量。实验研究工作不仅为进一步深入理解和探讨电子诱导脱附内在机制提供了直接的实验依据,而且对表面吸附状态、吸附-脱附过程等理论研究工作以及真空测量、电子轰击除气等工程应用工作都有重要意义。

【Abstract】 Desorption of nitrogen from polycrystalline nickel surfaces was studied with electron-stimulated desorption (ESD) technique which uses two different kinds of electron emission: the flash thermal electron emission and field electron emission. Key variables, including desorption yield, threshold energy of ESD, were measured and the possible mechanisms of surface adsorption and desorption were also tentatively discussed.

【关键词】 电子诱导脱附； 阈值能量； 脱附产额； 脉冲调制电子探束；
【Key words】 Electron-stimulated desorption； Threshold energy； Yield of desorption； Pulse-modulated electron beams；
【基金】 南京大学博士后研究经费资助
  • 【文献出处】 真空科学与技术 ,Vacuum Science and Technology , 编辑部邮箱 ,2003年05期
  • 【分类号】TB71
  • 【被引频次】1
  • 【下载频次】58
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