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离子溅射对氚钛靶寿命的影响

Sputtering Effect on Life-time of Titanium Tritide Target

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【作者】 姚泽恩； 陈尚文； 董明义； 贾文宝； 关永超；

【Author】 YAO Zeen1, CHEN Shangwen1, DONG Mingyi1, JIA Wenbao1, GUAN Yongchao2(1.Department of Modern Physics, Lanzhou University, Lanzhou 730000, China; 2.China Academy of Engineering Physics, Mianyang 621900, China)

【机构】 兰州大学现代物理系； 中国工程物理研究院 甘肃兰州　730000； 甘肃兰州　730000； 四川绵阳　621900；

【摘要】 应用TRIM程序模拟了离子在氚钛靶上的溅射产额。结果显示,O+、N+、C+和D+2等在氚钛靶上的溅射是导致氚钛靶寿命下降的重要因素。为了减小离子溅射对氚钛靶寿命的影响,束流入射角应小于45°。

【Abstract】 Ion sputtering yields on TTi target are numerically calculated with TRIM program. The data of sputtering yields demonstrate that O+, N+, C+ and D+2 would bring about the decrease of lifetime of TTi target. In addition, the incident angle of ion beam should be less than 45° for decreasing the effect of ion sputtering.

【关键词】 离子溅射； 氚钛靶； 寿命；
【Key words】 ion sputtering； T-Ti target； life-time；
【基金】 甘肃省自然科学基金资助项目(ZS001 A25 005 Z);国家经贸委高技术开发资助项目(96BK 474)
  • 【文献出处】 原子能科学技术 ,Atomic Energy Science and Technology , 编辑部邮箱 ,2003年01期
  • 【分类号】TL50
  • 【被引频次】20
  • 【下载频次】175
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