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MEMS传感器性能提高相关技术研究

How to Improve the Performances of MEMS Transducers

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【作者】 黄树森； 李昕欣； 王跃林； 鲍敏杭；

【Author】 Huang Shusen 1,Li Xinxin 1,Wang Yuelin 1,Bao Minhang 2 (1 State Key Lab on Transducer Technology,Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology,Chinese Academy of Sciences,Shanghai 200050; 2 Deparment of Microelectronics,Fudan University,Shanghai 200433)

【机构】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室； 复旦大学微电子学系 上海200050； 上海200050； 上海200433；

【摘要】 在分析MEMS(微电子机械系统 )传感器当前的发展现状、特点特别是在器件实用化和产品化进程中所面临的挑战后 ,提出了MEMS传感器技术实用化的关键———提高器件性能满足应用要求。根据研究经历举例说明改进传感器材料、结构、制作工艺和器件工作原理等具体措施对提高器件性能的作用

【Abstract】 Based on the current technical status and encountered challenges of MEMS transducers towards application market,a view point is given in the paper that performance improvement of MEMS transducers is the key to inter application market.Examples are given to describe how to improve the device-performances by utilizing some improved sensing materials,sensing structures,fabrication techniques and device working schemes,etc.

【关键词】 微电子机械系统； 微传感器； 微执行器； 微机械技术；
【Key words】 Microelectromechanical systems； Micro sensors； Micro actuators； Micromachining technology；
  • 【文献出处】 仪表技术与传感器 ,Instrument Technique and Sensor , 编辑部邮箱 ,2003年01期
  • 【分类号】TP212
  • 【被引频次】12
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