【作者】 闫利文；
【机构】 常熟高等专科学校机电系 江苏常熟215500；
【摘要】 微电子机械系统(MEMS)技术是一个新兴的技术领域,文中介绍了该技术的基于概念、技术特点和关键技术,讨论了微电子机械系统的研究领域、发展现状及发展趋势。更多还原
