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激光干涉仪测角系统的精度补偿方法

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【作者】 高媛； 郭丽莎；

【机构】 大连理工大学机械学院； 大连理工大学机械学院 大连116024； 大连116024；

【摘要】 提出一种新的准直方法 ,对HP552 8A激光干涉仪测角实现了精密计量。

【关键词】 激光； 角度； 准直； 精密计量；
  • 【文献出处】 计量技术 ,Measurement Technique , 编辑部邮箱 ,2003年01期
  • 【分类号】TH744.5
  • 【被引频次】5
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