【作者】 胡刚； 陈一； 谢锋； 刘剑霜； 朱烨；
【机构】 复旦大学材料系； 复旦大学材料系 200433； 200433；
【摘要】 本文简要介绍扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)的特点。分别介绍它们在半导体分析中的一些特点与局限。SEM分析与TEM分析在半导体显微分析中分别承担着各自任务,它们之间的关系是互补的关系。更多还原
