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微光电子集成芯片及其应用

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【作者】 陈弘达； 毛陆虹； 邓晖； 唐君； 杜云； 吴荣汉；

【机构】 中国科学院半导体研究所北京集成光电子学国家重点联合实验室； 中国科学院半导体研究所北京集成光电子学国家重点联合实验室；

【摘要】 <正> 一、引言目前,半导体科学技术在低维结构物理、微腔物理、光学量子器件及电学量子器件、超高速电子器件与集成电路、微光电子集成芯片、微光机电系统(MOEMS)器件等方面的研究与发展,其特征尺寸都已进入深亚微米、十纳米以至纳米量级。所研究对象的低维化和结构的微细化不仅是其性能改善的要求,更重要的是将可能导致一系列物理效应的发现

【关键词】 光电子集成； 芯片应用； 微光机电系统； 光互连； 微细化； VCSEL； 深亚微米； 低维结构； 微腔； 光子集成；
【基金】 国家863计划资助项目(2001AA122032,2001AA312080);国家自然科学基金(69896260)
  • 【文献出处】 中国集成电路 ,China Integrated Circuit , 编辑部邮箱 ,2003年02期
  • 【分类号】TN491
  • 【被引频次】2
  • 【下载频次】207
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