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椭偏测厚仪测量结果的计算机数据处理

MEASURING THE RESULTS OF OVAL THICKNESS METER IN THE COMPUTER DATAS HANDLING

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【作者】 刘倬建； 唐振方；

【Author】 Liu zhuojian Tang zhenfang (Jinan University,Guangzhou,510632)

【机构】 暨南大学； 暨南大学 广州； 510632； 广州； 510632；

【摘要】 本文详尽介绍了椭偏术测量单层透明薄膜折射率和厚度的方法 ,采用一种数字迭代计算方法 ,由测量得到的起偏角A和检偏角P直接算出所测薄膜的折射率和厚度。经过数值试验及与标准值比对 ,由此编制的计算程序具有准确 ,快速 ,方便的特点

【Abstract】 This paper introduces the method of measuring the results of oval thickness meter in the computer datas handling.This computer procedure has the characteristies of correctness and convenience.

【关键词】 椭偏测厚； 数据处理； 程序设计；
【Key words】 oval thickness； data handling； procedure designing；
  • 【文献出处】 大学物理实验 ,College Physical Experiment , 编辑部邮箱 ,2003年01期
  • 【分类号】O436.3
  • 【被引频次】3
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