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ITO薄膜的光学性能研究

Optical Properties of ITO Films

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【作者】 王敏； 蒙继龙； 陈明光；

【Author】 WANG Min1,MENG Ji-long2,CHEN Ming-guang3 (1.Department of Mechantronic Engineering, Guangdong Polytechnic Normal University, Guangzhou 510640; 2. College of Mechanical Engineering, South China University of Technology, Guangzhou 510640; 3. Department of Applied Physics, South China University of Technology, Guangzhou 510640, China)

【机构】 广东技术师范学院机电系； 华南理工大学机械工程学院； 华南理工大学应用物理系 广东广州510640； 广东广州510640； 广东广州510640；

【摘要】 采用溶胶-凝胶法制备了ITO薄膜,并对溶胶-凝胶法中Sn掺杂量、后续热处理温度以及热处理时间3种工艺参数对ITO薄膜可见光区透射率的影响进行了分析和研究。研究结果表明: w(Sn)掺杂量小于10 %时,ITO薄膜的透射率下降缓慢,掺杂量大于10 %后,薄膜的透射率急剧下降;随着热处理时间的延长,ITO薄膜的透射率直线型下降;热处理温度与ITO薄膜透射率呈曲线关系,热处理温度为500℃时,ITO薄膜的透射率出现最大值。

【Abstract】 The preparation of ITO films by sol-gel method and the influence of Sn diffusion, heat-treatment temperature and time on the transmittance of ITO films were studied. Experimental results showed that the transmittance of ITO films decreased slowly when Sn diffusion was less than 10 %,but it decreased sharply when Sn diffusion was beyond 10 %; with the increase of heat-treatment time, the transmittance of ITO films decreased linearly;with the increase of heat-treatment temperature, the transmittance of ITO films increased significantly with the temperature up to 500℃ and then decreased.

【关键词】 ITO薄膜； 溶胶-凝胶法； 光学性能； 透射率；
【Key words】 ITO films； sol-gel method； optical properties； transmittance；
  • 【文献出处】 中国表面工程 ,China Surface Engineering , 编辑部邮箱 ,2003年05期
  • 【分类号】TB43
  • 【被引频次】16
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