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微机械可调谐滤波器的研制(英文)
Micromechanical Tunable Optical Filter
【摘要】 利用 Ga As/Al Ga As分布反馈 Bragg反射镜在 Ga As衬底上制作了一个微机械的调谐滤波器 .该器件在 7V调谐电压下调谐范围达 2 8nm.
【Abstract】 A micromachined vertical cavity tunable filter with AlGaAs/GaAs distributed Bragg reflector is presented.This filter can be electrostatic tuning over a range of 28nm with an applied voltage of 7V.
【关键词】 微机械可调谐滤波器;
波分复用;
分布反馈Bragg反射镜;
【Key words】 micromachined tunable filter; wavelength division multiplexing; distributed Bragg reflector PACCF; 5200H; 8160C;
【Key words】 micromachined tunable filter; wavelength division multiplexing; distributed Bragg reflector PACCF; 5200H; 8160C;
【基金】 国家自然科学基金 (批准号 :90 10 40 0 3 ;60 13 70 2 0 ) ;国家高技术研究发展计划 ( No.2 0 0 2 AA3 12 2 9Z);国家重点基础研究发展规划 ( No.G2 0 0 0 0 3 660 3 )资助项目~~
- 【文献出处】 半导体学报 ,Chinese Journal of Semiconductors , 编辑部邮箱 ,2003年04期
- 【分类号】TN713
- 【被引频次】3
- 【下载频次】102