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基于模糊图像合成的微结构平面运动测量技术

Measurement technique of in-plane motion for micro-structure based on blur image synthesis

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【作者】 金翠云； 栗大超； 冯亚林； 靳世久； 曾周末； 郝一龙； 张大成；

【Author】 JIN Cui yun 1,LI Da chao 1,FENG Ya lin 2,JIN Shi jiu 1, ZENG Zhou mo 1,HAO Yi long 2,ZHANG Da cheng 2 (1.State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments,Tianjin University,Tianjin300072,China; 2.Institute of Microelectronics,Peking University,Beijing100871,China)

【机构】 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室； 北京大学微电子学研究院； 北京大学微电子学研究院 天津300072； 天津300072； 北京100871； 北京100871；

【摘要】 动态测试技术在MEMS研发过程中具有极为重要的作用。本文在机器微视觉的MEMS动态测试系统的基础上 ,基于模糊图像合成技术对MEMS谐振器的运动特性如谐振器的运动幅度、谐振频率 f及品质因数Q等重要参数进行了测试 ,并给出了实验结果。

【Abstract】 Testing technique of dynamic characterization is very important in the cause of research and development of MEMS. Based on computer micro vision MEMS dynamic testing system,this paper uses blur image synthetic technique to measure motion natural parameter of micro resonator such as motion amplitude, resonant frequency and quality factor etc. And it gives the experiment result.

【关键词】 动态测试； MEMS； 模糊图像； 谐振器； 谐振频率；
【Key words】 dynamic test； MEMS； blur image； resonator； resonant frequency；
【基金】 “8 63”高技术研究发展计划资助 (2 0 0 2AA40 40 90 )
  • 【文献出处】 微纳电子技术 ,Micronanoelectronic Technology , 编辑部邮箱 ,2003年Z1期
  • 【分类号】TP274.4
  • 【被引频次】1
  • 【下载频次】105
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