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喷镀法制备SnO2膜导电玻璃的研究

Study on conductive glass with SnO2 film by spray method

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【作者】 王德苗； 朱月秀；

【Author】 WANG De-miao 1, ZHU Yue-xiu 2 (1.Department of Electronic and Information, Zhejiang University,Hangzhou 310027, China 2.College of Information Science and Engineering, Wenzhou University, Wenzhou 325027, China)

【机构】 浙江大学信电系； 温州大学信息学院 浙江杭州310027； 浙江温州325027；

【摘要】 用喷镀法将 Sn Cl4溶液喷射到预先加热的玻璃表面 ,制成了薄膜电阻 <70 Ω/□ ,透光率 >88% ,热稳定性 <45 %的 Sn O2 膜导电玻璃 ,研究了膜厚、基底温度、溶液组成对薄膜电阻与透光率的影响。

【Abstract】 The transparent and conductive glass with SnO2 film by spray method has been obtained. The sheet resistance is less than 70Ω/□, the transmittance is greater than 88% and the hot stability is less than 45%. The effect of the film thickness, the substrate temperature and the composition on the sheet resistance and the transmittance is studied.

【关键词】 SnO2膜； 导电玻璃； 喷镀；
【Key words】 SnO2 film； Conductive glass； spray；
  • 【文献出处】 真空 ,Vacuum , 编辑部邮箱 ,2002年03期
  • 【分类号】TB43
  • 【被引频次】11
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