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射频辉光放电等离子体化学气相沉积类金刚石膜的性能研究

Studies of Property of Diamond-like Films by RF-PCVD

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【作者】 陈灵； 刘正义； 邱万奇； 黄元盛； 刘铁林； 欧阳光胜；

【Author】 Chen Ling,Liu Zhengyi,Qiu Wanqi,Huang Yuansheng (College of Mechanical Engineering,South China University of Technology,Guangdong Guangzhou,510640,China) Liu Tielin,Ouyang Guangsheng (Shenzhen Leidi Science & Technology Ind.Co.,Ltd.Shenzhen,518048,

【机构】 华南理工大学机械工程学院； 深圳市雷地科技实业有限公司； 深圳市雷地科技实业有限公司 广州510640； 广州510640； 深圳518048； 深圳518048；

【摘要】 用自行设计的RF PCVD(射频辉光放电等离子体化学气相沉积 )设备沉积类金刚石膜 ,并对膜的力学、光学、化学性能进行了分析。表明用该设备制备的类金刚石膜具有显微硬度高、磨擦系数小、膜基结合力高、对红外有良好的增透性 ,并且耐磨耐蚀、化学稳定性好。

【Abstract】 The Diamond like Carbon (DLC) films were grown by RF PCVD.The mechanical,optical and chemical properties were analyzed.The result shows that the DLC films have a high hardness,low friction coefficient,good adhesion,high infrared transparency and chemical inertness.

【关键词】 类金刚石膜； 射频辉光化学气相沉积； 性能；
【Key words】 Diamond like carbon films； RF PCVD； Properties；
【基金】 国家教委博士点基金资助项目 (No.19990 5 612 1);广东省自然科学基金资助项目 (No.990 5 48)
  • 【文献出处】 真空科学与技术 , 编辑部邮箱 ,2002年05期
  • 【分类号】TN304.055
  • 【被引频次】4
  • 【下载频次】250
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