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气压和流速对微热板气体传感器的影响

Influence of Gas Pressure and FIow Rate to Microhot-plate Gas Sensor

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【作者】 黄正兴； 唐祯安； 申爽； 陈正豪；

【Author】 Huang Zhengxing 1 Tang Zhenan 1 Shen Shuang 1 Philip C H Chan 2 1(Department of Electronic Engineering,Dalian University of Technology,Dalian 116023,China) 2(Department of Electric and Electronic Engineering,The Hong Kong University of Science and Technology,Hong Kong)

【机构】 大连理工大学微机电系统研究中心； 香港科技大学电机与电子学系 大连116023； 大连116023； 香港；

【摘要】 微热板具有加热功耗低和热电动态响应快的优点 ,是集成气体传感器等微传感器的核心部件。通过实验测定 ,介绍气压和流速对微热板气体传感器性能的影响

【Abstract】 Microhot plate is a key part of integrated gas sensor for its lower heating power and fast temperature response The influence of gas pressure and flow rate to microhot plate gas sensor is experimentally studied

【关键词】 气体； 压力； 流速； 微热板； 气体传感器；
【Key words】 Gas Pressure Flow rate Microhot plate Gas sensor；
【基金】 国家自然科学基金 (69682 0 0 6和 5 9995 5 5 0 -5 )资助项目
  • 【文献出处】 仪器仪表学报 ,Chinese Journal of Scientific Instrument , 编辑部邮箱 ,2002年S1期
  • 【分类号】TP212
  • 【被引频次】6
  • 【下载频次】179
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