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LIGA和微细EDM技术制造不锈钢微结构的研究

Fabrication of Stainless Steel Microstructure by LIGA and Micro-EDM Techniques

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【作者】 彭良强； 伊福廷； 张院春； 邹丽芸； 张菊芳； 韩勇；

【Author】 PENG Liang-qiang 1, YI Fu-ting 1, ZHANG Yuan-chun 2, ZOU Li-yun 2, ZHANG Ju-fang 1, HAN Yong 1 (1 Institute of High Energy Physics, Chinese Academy of Science, Beijing 100039, China; 2 Beijing Machinery&Electricity Institute, Beijing 100027, Chin

【机构】 中国科学院高能物理研究所； 北京市机电研究院； 中国科学院高能物理研究所 北京100039； 北京100039； 北京100027； 北京100039；

【摘要】 通过LIGA技术与微细电火花技术相结合 ,可以在硬质合金、不锈钢等材料上加工出微结构 ,这一新的方法必将拓宽微细加工的能力和应用范围。利用LIGA技术制备线宽 70 μm、厚度达 73 0 μm的铜工具电极 ,采用微细电火花技术在不锈钢片上加工出线宽 90 μm、具有复杂形状的微结构。

【Abstract】 The microstructure on the hard metal alloy and stainless steel could be fabricated by LIGA combined with micro-EDM technique. This method extends the capability and application of the micromaching.The copper tool electrode with line width of 70μm and thickness of 730μm has been made by the LIGA technique and then the microstructure with line width 90μm and complex shapes on the stainless steel film has been machined by the micro-EDM technique.

【关键词】 微细加工； LIGA技术； 电火花加工；
【Key words】 s:micromachining； LIGA technique； EDM；
【基金】 中国科学院知识创新工程资助项目 (U - 5 16 - 5 ) ;北京市自然科学基金资助项目 (30 2 2 0 0 5 )
  • 【文献出处】 微细加工技术 ,Microfabrication Technology , 编辑部邮箱 ,2002年02期
  • 【分类号】TG142
  • 【被引频次】15
  • 【下载频次】152
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