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高精直线滑台的设计和控制

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【作者】 王彦峰； 吴希让；

【机构】 南阳理工学院； 南阳理工学院 （473004）； （473004）；

【摘要】 高精机床需要高精滑台.文中介绍一种定位精度高达16nm的直线工作台设计。该工作台用钢制造,质量为100kg,用三个静压轴承全浮动支承。工作运动长度220mm,具有甚高的刚性。该滑台使用磨擦传动致动器,直线轴向最大平移速度10mm/s。使用闭环伺服控制,使用模控制器门（IMC）,自动补偿未建模的机械性能。也可使用比例积分微分控制器（PIDC）对直线滑台进行控制。控制方法中测量时使用激光干涉仪和光学直线编码器,保证使滑台得到甚高的定位精度。

【关键词】 高精运动； 摩擦传动； 内模控制； 数字控制；
  • 【文献出处】 精密制造与自动化 ,Grinder and Grinding , 编辑部邮箱 ,2002年01期
  • 【分类号】TG502.3
  • 【被引频次】3
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