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射频CO2激光陶瓷基板划片机

RF CO2 laser ceramic substrate scriber

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【作者】 侯廉平； 陈陪峰； 陈清明；

【Author】 Hou Lianping 1 Chen Peifeng 1 Chen Qingming 2 ( 1Institute of Laser technology & Engineering,HUST,Wuhan,430074);( 2Wuhan goldensky Laser Co.,LTD,Wuhan 430074)

【机构】 华中科技大学激光工程研究院； 武汉金石凯激光技术有限公司 武汉430074； 武汉430074； 武汉430074；

【摘要】 介绍了RFCO2 激光器及陶瓷基板划片的特点。分析了RFCO2 激光陶瓷基板划片的机理 ;给出了整机总体设计方案。对导光系统的激光束进行了模拟 ,给出了导光系统的光路图及聚焦镜焦平面处的光斑尺寸及能量分布图。整机性能指标达到国外进口机的水平

【Abstract】 the characteristic of RF CO 2 laser and its ceramic substrate scribing were presented.The mechanism of scribing ceramic substrate by using RF CO 2 laser was analyzed.The design of the scribing system was presented.The laser beam of the delivery system was simulated.The optical circuit of the delivery system,the beam size and its energy distributing diagrams were plotted.The laser scribing system has reached the counterpart of the foreign country.

【关键词】 陶瓷基板； 激光划片； RFCO2激光器；
【Key words】 ceramic substrate； laser scribing； RF CO 2 laser；
  • 【文献出处】 激光杂志 ,Laser Journal , 编辑部邮箱 ,2002年06期
  • 【分类号】TN249
  • 【下载频次】46
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