【作者】 郑国兴； 杜春雷； 邱传凯； 刘强；
【机构】 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室； 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 成都 610209； 成都 610209； 成都 610209；
【摘要】 阵列波导光栅(Arrayed-Waveguide Grating,AWG)是密集型波分复用(DWDM)系统中的关键器件之一。本文论述了AWG的原理及其制作工艺(主要是反应离子刻蚀和化学气相沉积),分析了AWG的一些重要性能参数,提出了一些改进其性能的方法。最后,阐述了AWG在波长路由器、光上/下路复用器(OADM)、光交叉互连(OXC)等的应用。更多还原
