【作者】 熊奡； 孙宪梅； 蔺荣岩； 肖立宏；
【机构】 清华大学精密仪器与机械学系； 清华大学精密仪器与机械学系 100084； 100084； 100084；
【摘要】 本文以表面行貌的研究为背景，介绍了用于观测试件表面行貌的实验台系统．详细分析了其结构和功用。更多还原
