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MEMS的概念及其国内外的研究状况

The conception of MEMS and current development at home and abroad

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【作者】 刘文耀； 杜君文； 应济；

【Author】 LIU Wen-yao, DU Jun-wun, YING Ji (Ningbo Professional Technological Institute, Ningbo 315800, China)

【机构】 宁波职业技术学院!浙江宁波 315800； 浙江大学!浙江杭州 310027；

【摘要】 介绍了ＭＥＭＳ的原理及有关技术，论述了该技术在国内外的研究状况及发展前景。

【Abstract】 The principle and relevant technology of GEMS are introduced. The current development of this technology at home and abroad and the prospect are also involved.

【关键词】 MEMS； 微型机器人； 压电微电机；
【Key words】 MEMS, micro-robot； pizeoelectrical micro -motor；
  • 【文献出处】 机械工程师 ,Mechanical Engineer , 编辑部邮箱 ,2001年02期
  • 【分类号】TH-39
  • 【被引频次】23
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