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低温磁控溅射有机衬底和玻璃衬底ZnO:Al透明导电膜的结构及特性

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【作者】 郝晓涛； 马瑾； 马洪磊； 田茂华； 曹宝成； 叶丽娜； 程传福； 滕树云；

【机构】 山东大学光电材料与器件研究所； 山东师范大学物理系； 山东师范大学物理系 济南250100； 济南250100； 济南；

【摘要】 利用射频磁控溅射法在有机薄膜衬底和 70 59玻璃衬底上制备出了具有良好附着性的低电阻率的ZnO :Al透明导电膜 ,对在低温 ( 2 5～ 2 1 0℃ )下制备薄膜的结构和光电特性进行了比较研究 .铝掺杂的氧化锌薄膜是多晶膜 ,具有六角纤锌矿结构 ,最佳取向为 ( 0 0 2 )方向 .薄膜的最低电阻率分别为 1 .0× 1 0 -3和 8.4× 1 0 -4 Ω·cm ,在可见光区的平均透过率分别达到了 72 %和 85%.

【关键词】 有机衬底； ZnO:Al； 透明导电膜；
【基金】 国家自然科学基金资助项目 (批准号 :698760 2 5 )
  • 【文献出处】 中国科学(A辑) ,Science in China,Ser.A , 编辑部邮箱 ,2001年09期
  • 【分类号】TN305.7
  • 【被引频次】25
  • 【下载频次】268
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