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256×256 Si微透镜阵列与红外焦平面阵列单片集成研究

MONOLITHIC INTEGRATION OF 256×256 Si MICROLENS ARRAYS WITH INFRARED FOCAL PLANE ARRAYS

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【作者】 陈四海； 易新建； 王宏臣； 孔令彬； 马宏；

【Author】 CHEN Si Hai YI Xin Jian WANG Hong Chen KONG Ling Bin MA Hong (The State Key Laboratory of Laser Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan, Hubei 430074, China)

【机构】 华中科技大学激光技术国家重点实验室； 华中科技大学激光技术国家重点实验室 湖北； 武汉； 430074； 湖北；

【摘要】 基于标量衍射理论设计了 8位相菲涅尔衍射微透镜阵列 .利用多次曝光和离子束刻蚀技术在大规模面阵( 2 5 6× 2 5 6) Pt Si红外焦平面阵列的背面制作了单片集成微透镜阵列样品 (单元面积为 3 0μm× 4 0μm ) .测试结果表明 ,单片集成微透镜的红外焦平面阵列样品的信噪比提高了 2 .0倍 .

【Abstract】 phase level 256×256 elements diffractive microlens arrays with element dimension of 30μm×40μm were fabricated on the backside of the PtSi infrared focal plane arrays (IRFPA) based on the scalar diffraction theory and computer aided design. The measurement results indicate that the ratio of the signal to noise of the PtSi IRFPA sample with microlenses is increased by a factor of 2.0.

【关键词】 PtSi红外焦平面阵列； 微透镜阵列； 单片集成技术；
【Key words】 PtSi infrared focal plane arrays (PtSi IRFPA)； microlens arrays； monolithic integration technology.；
【基金】 国家自然科学基金 (编号 60 0 860 0 3)~~
  • 【文献出处】 红外与毫米波学报 ,Journal of Infrared and Millimeter Waves , 编辑部邮箱 ,2001年05期
  • 【分类号】TN216
  • 【被引频次】10
  • 【下载频次】247
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