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多组元气体、金属脉冲离子源

Multi-element metal and gas pulse ion source

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【作者】 史维东； 钟傅； 刘振民； 马永辉；

【Author】 SHI Weidong ZHONG Fu LIU Zhenmin MA Yonghui (National Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion and Electron Beams, Dalian University of Technology, Dalian 116024)

【机构】 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室!大连116024；

【摘要】 介绍了多组元气体、金属脉冲离子源的结构、工作原理和功能。给出该源的调试指标为 :引出电压 80kV ;引出脉冲束流 ,Ti+为 1.8A、N+为 1.2A、Ti++N+为 3.0A ;脉冲宽度 2 50 μs ;束斑面积2 2cm(380cm2 ) ;均匀度为± 2 0 %。该源具有多功能、脉冲流强大、束斑大、高电荷态等特点。

【Abstract】 The article described the structure,principleed and function of a multi-element gas and metal pulse ion source, and demonstrated the regulating index and characteristics of the source.

【关键词】 离子源； 脉冲； 金属真空弧；
【Key words】 Ion source； Pulse； Metal vacuum arc；
【基金】 国家自然科学基金资助
  • 【文献出处】 核技术 ,Nuclear Techniques , 编辑部邮箱 ,2001年01期
  • 【分类号】TL503.3
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